我國(guó)首臺(tái)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48所近日成功研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)具有自立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、適用于0.25μm器件特性尺寸、6英寸~8英寸晶圓片平坦化工藝要求的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備。 該項(xiàng)目的研制成功,彌補(bǔ)了我國(guó)IC設(shè)備制造業(yè)0.25μm/6英寸~8英寸晶圓片平坦化設(shè)備的空白,對(duì)于實(shí)現(xiàn)我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展,形成我國(guó)自立的知識(shí)產(chǎn)權(quán),提拔我國(guó)集成電路的團(tuán)體研發(fā)水平和產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力及打破國(guó)外微電子尖端技術(shù)壟斷有著十分龐大的實(shí)際意義。 ?。ㄐ畔?lái)源:機(jī)械電子頻道子站) (作者:佚名編輯:浙江水暖閥門行業(yè)協(xié)會(huì))
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